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マイクロフォーカスX線検査装置 Xslice SMX-6010

Xslicer SMX-6010は自社製マイクロフォーカスX線発生装置と300万画素のフラットパネル検出器を搭載した縦照射型X線検査装置です。
高精細かつ広ダイナミックレンジ画像で,微細な内部構造や欠陥を観察できます。
また,透視/PCT(斜めCT)をスムーズに切り替えワーク形状に合わせた多様な観察が可能です。
小型化が進む電子部品から高密度,多層化の進む実装基板まで様々なワークの検査をサポートします。

CT撮影の種類・特長

PCT(斜めCT):標準搭載しているCT機能

X線検出器を斜めに配置し,X線検出器を回転させて透視画像を撮影することで,CT撮影を行います。
XYステージ上にあるワークはX線発生装置に近づけられるため,ワークの幅によらず拡大してPCT撮影が行えます。

PCT(斜めCT)の特長

基板上のワークの場合,ワークの幅に影響される直交CTとは異なり斜めCTでは高倍率撮影が可能です。

VCT(直交CT):オプション

X線検出器を上方に固定し、ワークを回転させて透視画像を撮影することで、CT撮影を行います。
拡大はワークの幅に依存しますが、X線の照射方向に対し直交した状態で撮影ができます。
CTユニットを透視ステージにセットし、ソフトウェアタブを切り替えるだけで、VCT撮影が可能です。

サイズ

基板100 × 150 mm以下
小物ワークΦ50 × 100 mm以下

※上記サイズ内であっても、ワークの大きさ、撮影位置により、専用チャック等の治具が必要になる場合があります。

質量 200 g 以下

VCT(直交CT)の特長

PCTは、斜め方向から撮影した画像をもとに画像再構成を行うため、縦断面画像においてその影響がわずかに出ます。
VCTは、X線の照射方向に対し直交した状態で撮影するため、縦断面画像が鮮明になります。

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